全鋼或鋁合金防靜電架空地板：最常用，導電性能好，便于下方走線，便于形成等電位接地網絡。

PVC防靜電卷材/片材：鋪設于平整地面，美觀、耐磨，但接地網絡需專門鋪設。

類型選擇：

關鍵參數：表面電阻和系統電阻需滿足國家標準（如GB 50174中規定的 1.0×10^5 Ω 至 1.0×10^9 Ω）。電阻值在此范圍內既能快速泄放靜電，又能保障人員安全（避免觸電）。

接地：地板必須有完善的接地系統，通過銅箔網格或接地導線連接到實驗室的共用接地端子。

宜采用防靜電涂料或具有防靜電功能的彩鋼板、石膏板。避免使用易產生靜電的普通塑料或絕緣材料裝飾。

靜電在低濕度環境（相對濕度低于40%）下極易產生。實驗室需配備恒溫恒濕空調系統，將相對濕度控制在40%-60% 的適宜范圍內。這是成本效益最高的防靜電措施之一。

對于潔凈度要求高的區域，普通HEPA過濾器摩擦可能產生靜電。可選用防靜電型HEPA過濾器。

在關鍵區域（如芯片操作臺）上方，可安裝離子風機，它能持續產生正負離子流，中和工作區域內物體表面積累的靜電。