| 關(guān)鍵要素 | 十萬級（ISO 7級）核心要求 | 備注 |
|---|---|---|
| 換氣次數(shù) | ≥15次/小時(shí) | 最核心的參數(shù)，直接決定潔凈度 |
| 壓差控制 | 相鄰區(qū)域10-15Pa | 維持潔凈氣流方向，防止污染 |
| 高效過濾器 | 末端HEPA過濾 | 過濾效率99.97%以上（對0.3μm） |
| 氣流組織 | 上送下回/側(cè)回 | 保證氣流均勻，消除死角 |
| 裝修材料 | 彩鋼板、圓弧角、自流平/PVC地面 | 光滑、不起塵、易清潔、無死角 |
| 溫濕度 | T: 20-24°C±2℃， RH: 45-65%±5% | 根據(jù)實(shí)驗(yàn)需求微調(diào) |
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