電子無塵室是為了滿足半導體制造工藝需求的潔凈室，電子無塵室凈化工程對環境潔凈度、溫濕度、振動、ESD、AMC控制等都有一定的要求。實驗室凈化無菌試驗室-潔凈實驗室-生物安全實驗室的建設方案包括：建筑布局和裝修、空氣調節、給排水、氣體供應、電氣設計、集中控制、安防、施工工藝、檢測、培訓等多方面內容。相對于其他工業潔凈室，電子無塵室有面積大、潔凈等級高、溫濕度控制精度高等特點。

電子行業車間凈化

根據電子無塵室的空氣循環特點，潔凈室可分為高效送風循環空調、濕密封循環風機和FFU循環系統三種類型。

第1種形式在小規模低等級要求的潔凈室車間設計中被廣泛應用，對于大面積高等級的無塵室則存在運行成本過高、占用空間過大等缺點。

第2種形式的設計可以滿足集成電路制造無塵室大面積高等級的要求，但運行成本較高，并且潔凈室風速、風量調節困難，系統升級改造困難，因此操作靈活性很低。

第三種FFU循環系統不僅節省了運行空間，清潔度高，安全性好，運行成本低，而且具有較高的運行靈活性?？呻S時對系統進行升級調整，不影響生產。所有這些都能很好地滿足半導體制造業的需要。因此，在半導體制造業中，FFU循環系統是一個接一個的系統。逐步成為主要的凈化設計方案。

FFU循環系統的特點是：整個潔凈室由靜壓層、工藝層、工藝輔助層和回風通道組成，由FFU提供循環空氣的動力，將新風、循環風混合后通過超高效過濾器送入工藝層和工藝輔助層，靜壓層相對于工藝層為負壓。此外，還有生產輔助區為集成電路制造廠務設備區域，包括電力供應、氣體和化學品供應、超純水供應等。

集成電路制造對電子無塵室的環境控制有著嚴格的要求。不同的工藝要求不同的清潔度，如1級微環境中的光刻和1000級環境中的化學機械研磨。

此外，集成電路制造潔凈廠房具有噪聲、微振動、照度等相關規定和要求，特別是振動控制，因此在潔凈室的建筑結構設計中需要有一定的要求。

良好的電子潔凈室凈化工程設計不僅節約能源，降低運營成本，減少人力投入，而且為生產提供安全可靠的保障。在三種清潔系統中，FFU循環系統具有低運行成本和高清潔度安全性。因此，FFU循環系統經常用于集成電路潔凈室。清潔度要求越高，溫度和濕度控制的準確度越高，潔凈室的投資和運行成本就越高。因此，在環境清潔度大或溫濕度要求較低的情況下，一些關鍵的工藝設備被安排在較高的水平。清潔度或溫濕度控制區是集成電路制造清潔車間的設計趨勢。